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集成電路生產制造階段,質量工具是過程質量控制非常重要的標準工具之一。質量工具能夠進一步的保障晶圓的質量符合用戶的要求,高標準的晶圓制造質量,可以讓一些集成電路生產廠家迅速的提升企業的核心競爭力,因而重視質量工具的應用在集成電路的生產中是至關重要的。
在集成電路生產過程中,主要的質量控制工具,是一些比較優質的質量控制方法,比如包括PDCA問題解決法。對生產制造過程中可能存在的安全隱患進行搜集并通過。具體的干預措施,解決相關的質量問題,實現精細化的生產,達到精益生產的目的,滿足用戶對集成電路的質量要求。
在集成電路生產過程中,質量控制的過程主要分為三個步驟:一是先進產品質量控制計劃,集成電路的生產廠家必須按照客戶的要求做好物料人機以及生產方法的準備,制定出完善的生產計劃,規避生產過程中可能存在的風險項;二是預防措施。在生產完成的產品中,需要及時的進行產品的檢驗,對于一些產品的異常項進行質量管控;三是異常品處置管控,在集成電路生產過程中,可以結合統計學知識設計出產品質量控制區間,有一部分產品的數據在質量控制區間之外,就可能被認為產品質量的異常通過。質量控制區間的設定,能夠從科學化的角度對產品的質量進行管控。